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氮泵可以提前冲好吗

2024-09-30 来源:个人技术集锦
不可以。因为氮气容易渗透到泵系统中的密封结构中,并在那里积累,甚至会影响其他设备的工作。氮泵用于在氧气限制的环境中扫描电子显微镜(SEM)或离子注入器(IonImplanter)等应用中,提供分析样品的背景气。
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