专利名称：高纯高密度ITO靶材的制备方法专利类型：发明专利
发明人：钟小华,麻七克,朱刘,童培云申请号：CN201410737689.6申请日：20141205公开号：CN105712703A公开日：20160629
摘要：本发明提供一种高纯高密度ITO靶材的制备方法，其包括步骤：将自制的ITO粉加纯水配制成浆料，之后加入分散剂，在砂磨机中砂磨，之后加入粘结剂和消泡剂进行球磨，再经喷雾造粒得到ITO造粒粉；将得到的ITO造粒粉装入模具中预压成型得到ITO初坯；将得到的ITO初坯在冷等静压机上成型得到ITO素坯；将得到的ITO素坯在脱脂炉中脱脂，之后再在通氧气氛的烧结炉中烧结，即得到高纯高密度的ITO靶材。本发明的高纯高密度ITO靶材的成分更均匀，不易开裂，纯度高，相对密度高。
申请人：广东先导稀材股份有限公司
地址：511500 广东省清远市清新县禾云镇工业区(鱼坝公路旁)
国籍：CN
代理机构：北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：张向琨
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