专利名称：一种基于纳米孔的石墨烯高压压力传感器专利类型：实用新型专利
发明人：李孟委,王俊强,李明浩,梁海坚申请号：CN202020083612.2申请日：20200115公开号：CN211717678U公开日：20201020
摘要：一种基于纳米孔的石墨烯高压压力传感器，传感器包括：封装外壳，以及设置在封装外壳顶端的不锈钢端盖和设置在封装外壳内部底端的基板，不锈钢端盖上设置有多个圆孔，基板上设置有衬底，衬底中心设置有纳米孔；压力检测单元，压力检测单元设置在衬底上；互连组件，互连组件设置在压力检测单元两侧，互连组件一端与压力检测单元连接，互连组件另一端与外部连接。本实用新型在在纳米孔中充入惰性气体，通过将纳米薄膜排布在纳米孔结构上，衬底与基板通过金属键合形成惰性气体密封腔，利用石墨烯的性质，可长期稳定工作在400MPa的高压环境中且响应时间低于1μs，并且耐酸碱、抗腐蚀，适用于各种高压测试环境，具有很高的实用价值。
申请人：中北大学
地址：030051 山西省太原市学院路3号
国籍：CN
代理机构：北京惠智天成知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：刘莹莹
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