（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201580012712.8 （22）申请日 2015.01.29
（71）申请人 汉阳大学校产学协力团
地址 韩国首尔
（10）申请公布号 CN106463609A
（43）申请公布日 2017.02.22
（72）发明人 洪镇杓;李*傧
（74）专利代理机构 永新专利商标代理有限公司
代理人 张海涛
（51）Int.CI
H01L43/02;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
具有垂直磁各向异性的MTJ结构
（57）摘要
本发明提供一种具有垂直磁各向异性
(PMA)的磁隧道结(MTJ)结构。所述MJT结构包括含有钨基物质的籽晶层，位于所述籽晶层上的包含硼基铁磁材料且具有PMA的第一铁磁层，位于所述第一铁磁层上的隧穿势垒层，以及位于所述隧穿势垒层上且具有PMA的第二铁磁层，其中籽晶层的厚度为1nm‑10nm。相应地，通过使用钨基物质为种子物质，可提供所述MTJ结构，其中即
使在350℃‑400℃的高温下可保持其第一铁磁层的结晶性，避免了PMA减少的问题，且因此改善了热稳定性。
法律状态
法律状态公告日
2017-02-22 2017-02-22 2017-03-22 2017-03-22 2019-03-12
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效
发明专利申请公布后的视为撤回
法律状态
公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效
发明专利申请公布后的视为撤回
权利要求说明书
具有垂直磁各向异性的MTJ结构的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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