专利名称：一种具有检测装置的磁控溅射靶专利类型：实用新型专利
发明人：龙鹏,李毅,刘志斌,宋光耀,翟宇宁申请号：CN201120565822.6申请日：20111230公开号：CN202415680U公开日：20120905
摘要：本实用新型涉及一种具有检测装置的磁控溅射靶，应用于薄膜太阳能电池低温沉积导电膜层，属于太阳能磁控溅射技术领域。其特征是靶的背面设有安装检测装置的沟槽，检测装置包括表面绝缘导线、继电器和报警灯铃，表面绝缘导线敷设在靶的沟槽内，该导线穿过水冷背板和靶座与继电器连接，且由继电器连接报警灯铃。本实用新型靶材底部预埋了导线，当靶材将要耗尽时其底部的导线切断报警，克服了传统方法判定靶材是否耗尽的不确定性，提高了靶材利用率，保证了镀膜质量。
申请人：深圳市创益科技发展有限公司
地址：518029 广东省深圳市福田区八卦三路光纤小区二栋八楼东座
国籍：CN
代理机构：深圳市毅颖专利商标事务所
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容