专利名称：采用TiO陶瓷靶磁控溅射的膜系玻璃结构及方法专利类型：发明专利
发明人：杨桂祥,岳志峰,赵永进,方志坚申请号：CN201010286734.2申请日：20100919公开号：CN101935169A公开日：20110105
摘要：本发明涉及一种采用TiO陶瓷靶磁控溅射的膜系玻璃结构及方法；该玻璃的膜层结构自玻璃板向外依次为：玻璃/TiO基层/底层电介质层/底银层/底层阻挡保护层层/中间复合电介质层/顶层银/顶层阻挡保护层/上层电介质层。方法是a)基板玻璃清洗、干燥；b)预真空过渡；c)镀陶瓷TiO基层；d)镀底层电介质层；e)镀底层银；f)镀底层阻挡保护层；g)镀中间复合电介质层；h)镀顶层银；i)镀顶层阻挡保护层；j)镀上层电介质层。发明在具有TiO有折射率高的特点，更有效的降低银层反射。TiO膜有较强的耐腐蚀性能。氧化锌表面更适合于银层成膜，在同样银层厚度的情况下达到较低的辐射率，在氧化锌作为底层电介质层的情况下，先镀制一层陶瓷TiO则结合了两种材料的优点。
申请人：天津耀皮工程玻璃有限公司
地址：300409 天津市塘沽区新技术开发区北辰科技园华泰道1号
国籍：CN
代理机构：天津市北洋有限责任专利代理事务所
代理人：王丽
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