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一种磊晶基板的加工装置[实用新型专利]

来源:个人技术集锦
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种磊晶基板的加工装置专利类型:实用新型专利发明人:张婷

申请号:CN201821743684.4申请日:20181026公开号:CN208970487U公开日:20190611

摘要:本实用新型公开了一种磊晶基板的加工装置,其结构包括工作台,所述工作台上设置有支撑架、放置板、除尘装置和固定杆,所述支撑架固定连接在所述工作台的上表面,所述放置板固定连接在所述支撑架的内侧,所述除尘装置固定连接在所述工作台底部的右侧,所述固定杆固定连接在所述放置板的右侧,所述支撑架上设置有第一推动器和第二推动器,所述第一推动器固定连接在所述支撑架上端的中间处,所述第二推动器固定连接在所述支撑架上端的右侧。本实用新型增强了基板在切割过程中的稳定性,降低了基板切割过程中损坏的几率,提高了基板切割时长度的精确性,避免了切割下的基板与工作台发生碰撞,提高了基板加工环境的质量。

申请人:张婷

地址:350800 福建省福州市闽清县梅城镇过垅山新村22号

国籍:CN

代理机构:厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人:郭福利

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