专利名称：激光光线的光点形状检测方法专利类型：发明专利发明人：能丸圭司
申请号：CN201210253416.5申请日：20120720公开号：CN102901461A公开日：20130130
摘要：本发明提供光点形状检测方法，包括：检测基板保持步骤，在工作台的保持面上保持检测基板；激光光线照射步骤，通过聚光器对由激光光线振荡构件振荡出且不能对检测基板和进行加工的输出的激光光线进行会聚，并将其照射到检测基板的发光体所处的区域；光强度检测步骤，在对检测基板的发光体所处的区域照射激光光线的状态下，使工作台在X轴方向和Y轴方向上移动，并且通过光检测器检测由发光体发出的光的光强度；光强度映射图生成步骤，生成在光强度检测步骤中检测到的发光体的x、y坐标值处的光强度映射图；以及光点形状图像形成步骤，使聚光器定位于与工作台保持面垂直的Z轴方向上的多个检测位置，生成激光光线的光点形状图像。
申请人：株式会社迪思科
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：北京三友知识产权代理有限公司
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