专利名称：一种表面性能优越的正性光刻胶添加剂专利类型：发明专利
发明人：杨欣,崔淑杰,贾宏平,李永强申请号：CN202010816243.8申请日：20200814公开号：CN112180682A公开日：20210105
摘要：本发明公开了一种表面性能优越的正性光刻胶添加剂。本发明所涉及的正性光刻胶添加剂包括亲脂性非离子型表面活性剂和粘度增加剂两部分，其中亲脂性非离子型表面活性剂主要为含硅的低聚物表面活性剂和含氟的表面活性剂。由于传统使用重氮萘醌磺酸酯作为感光剂的正性光刻胶虽然分辨率高，图案线条清晰度高，但是其难于精制，烘干过程中易产生缩孔，粘附性和稳定性较差。本专利公布的添加剂组分有利于减少孔洞的发生，容易制得表面性能优越的正性光刻胶。
申请人：陕西彩虹新材料有限公司
地址：712021 陕西省咸阳市秦都区彩虹二路
国籍：CN
代理机构：北京卓特专利代理事务所(普通合伙)
代理人：段宇
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