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用于在电阻转换器件中受控地形成电阻转换材料的方法和由此获得的

来源:个人技术集锦
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:用于在电阻转换器件中受控地形成电阻转换材料的

方法和由此获得的器件

专利类型:发明专利

发明人:卢多维克·古克斯,德克·武泰斯申请号:CN200780031802.7申请日:20070831公开号:CN101622728A公开日:20100106

摘要:本发明披露了一种用于在电阻转换器件中受控地形成电阻转换层的方法。所述方法包括提供包括底部电极(10)的衬底(2);在所述衬底上提供包括凹槽(7)的介电层(4),该凹槽含有用于形成所述电阻层(11)的金属;在所述衬底上提供包括开口(8)的介电层(5),该开口暴露所述凹槽金属的;和在所述凹槽和开口中形成电阻层。

申请人:校际微电子中心

地址:比利时勒芬

国籍:BE

代理机构:上海专利商标事务所有限公司

代理人:李玲

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