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对多晶硅锭进行加工制得用于切片的硅棒的方法[发明专利]

2024-05-21 来源:个人技术集锦
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:对多晶硅锭进行加工制得用于切片的硅棒的方法专利类型:发明专利发明人:贺洁

申请号:CN201010238223.3申请日:20100728公开号:CN101973072A公开日:20110216

摘要:本发明涉及硅锭后续加工技术领域,特别是一种对多晶硅锭进行加工制得用于切片的硅棒的方法。该方法具有如下工艺步骤:A.将多晶硅锭固定于截断设备上,截除多晶硅锭顶部的杂质层;B.从硅锭上截除出硅锭的顶部低少子寿命部分和底部低少子寿命部分;C.将硅锭固定于开方机台,对硅锭进行开方,并截除硅锭四周的杂质层;D.开方得到的硅块,经过清洗检测后便是可用于切片的成品硅棒。该方法少子寿命检测及低少子寿命层截除工序少、加工成本低,有利于提高产能。

申请人:常州天合光能有限公司

地址:213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号

国籍:CN

代理机构:常州市维益专利事务所

代理人:王凌霄

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