专利名称：一种圆环形单晶硅棒的加工装置专利类型：实用新型专利
发明人：蔡明,李亚光,袁伟龙,刘丰,纪新鹏申请号：CN201922204595.3申请日：20191210公开号：CN211389602U公开日：20200901
摘要：本实用新型公开了一种圆环形单晶硅棒的加工装置。该装置包括刀具、底部支撑机构、单晶固定装置；所述单晶棒固定装置设置在底部支撑机构上，单晶固定装置包括多个卡爪，多个卡爪固定单晶棒，在每个卡爪与单晶棒侧壁之间设有卡爪垫块；刀具设置在单晶棒固定装置的上方，对准单晶棒上端面；在单晶棒与底部支撑机构之间设有石墨垫板。所述卡爪的数量为3个，对称分布在单晶棒周围。本实用新型的圆环形单晶硅棒的加工装置能够解决进刀量的问题，避免刀具磨损，保证单晶产品的完整度，使之不会出现崩边现象，从而有效的降低了产品的崩边率。
申请人：山东有研半导体材料有限公司
地址：253012 山东省德州市经济技术开发区袁桥镇东方红东路6596号(中元科技创新创业园)A座921室
国籍：CN
代理机构：北京北新智诚知识产权代理有限公司
代理人：刘秀青
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