专利名称：多晶硅棒及其制造方法专利类型：发明专利
发明人：久保田纯一,小田开行申请号：CN97190589.4申请日：19970519公开号：CN1194624A公开日：19980930
摘要：一种多晶硅棒,其特征在于在X射线衍射图案中表示晶体取向(111)的峰的半高宽度为0.3°以下、且沿径向的内应变率小于5.0x10cm并且内部铁浓度在0.5ppba以下。该多晶硅棒具有高结晶度、高纯度和低内应变,其制造方法为在由三氯硅烷和氢气组成的气体气氛下加热硅芯材以便使硅沉积在该硅芯材上从而制造多晶硅棒,接着在不使该多晶硅棒与外界空气接触下进行热处理,从而使其减少内应变。
申请人：德山株式会社
地址：日本山口县
国籍：JP
代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：杨宏军
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