专利名称：一种多晶硅硅棒的制造方法专利类型：发明专利发明人：钟真武,陈其国申请号：CN200910264201.1申请日：20091231公开号：CN101759185A公开日：20100630
摘要：本发明涉及一种多晶硅硅棒的制造方法，所述方法包括使含硅气体和氢气在表面温度为1000-1150℃的螺旋形硅芯表面沉积并制取多晶硅棒的方法，该方法与现有采用细直硅芯的制造方法相比，具有提高表面积，增加沉积速度，充分利用热辐射，降低还原直接电耗的优点。
申请人：江苏中能硅业科技发展有限公司
地址：221004 江苏省徐州市经济开发区杨山路66号
国籍：CN
代理机构：南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人：肖明芳
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