（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201010119951.2 （22）申请日 2010.03.08
（71）申请人 瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声微电子科技(常州)有限公司
地址 518057 广东省深圳市南山区高新技术产业园北区新西路18号
（10）申请公布号 CN101841758A
（43）申请公布日 2010.09.22
（72）发明人 李海锋;张睿 （74）专利代理机构
代理人
（51）Int.CI
H04R19/04;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
电容MEMS麦克风
（57）摘要
本发明涉及微型麦克风领域，具体指一种
应用于电子设备上，具有更加灵敏度的电容MEMS(micro-electro-mechanicalsy stem)麦克风，在基底上与背板相对构成电容系统的振膜单元，由处于中央位置的内膜和围绕内膜外周侧的环形外膜构成，内膜与外膜分别向外衍生延伸出第一电极、第二电极，电连接在基底上，以减小振膜周边缘的约束，可以有效提高灵敏度；同时
本结构振膜结构，减少对电极的需求，有利于节省更多的空间，测量结果优于周边固定电容式麦克风。
法律状态
法律状态公告日
2010-09-22 2010-11-10 2015-12-09
法律状态信息
公开
实质审查的生效
发明专利申请公布后的驳回法律状态
公开
实质审查的生效
发明专利申请公布后的驳回
权利要求说明书
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说明书
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