专利名称：一种晶圆高效清洗装置以及清洗方法专利类型：发明专利发明人：钱诚,李刚,周少龙申请号：CN201811170089.0申请日：20181009公开号：CN109201608A公开日：20190115
摘要：本发明公开了一种晶圆高效清洗装置，它包括水槽，水槽内放置有待清洗晶圆，水槽上方盖有顶罩，顶罩内设置有喷淋喷雾装置，水槽底部两侧设置有进水管，水槽两侧面开有溢流口，水槽的底部开有排液口。本发明还公开了一种晶圆高效清洗方法，通过进气管向水槽内通氮气，利用高纯氮气排除空气，降低喷淋液汇总掺杂氧气的概率，采用浸泡溢流清洗的方式稀释并清除晶圆表面的粘附的化学品,喷淋和喷雾这两种方式在不同时段分开进行，喷淋保证每个晶圆可以均匀清洗，喷雾保持晶圆湿润，减少纯水的用量。
申请人：无锡亚电智能装备有限公司
地址：214000 江苏省无锡市新吴区无锡中关村软件园30号楼(C3)125-128、227、229、231-238室
国籍：CN
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