专利名称：微机电传感器专利类型：发明专利
发明人：蒋铠宇,陈振颐,张朝森申请号：CN201910421777.8申请日：20190521公开号：CN110290450A公开日：20190927
摘要：本发明涉及一种微机电传感器，包括一电极板、一振膜结构、一支撑结构以及一泄压膜层。电极板具有一导电部。振膜结构间隔设置在所述电极板的一侧且具有一感测膜层。支撑结构配置在振膜结构与电极板之间并围绕一电性耦合区及一气体流动区。支撑结构包括有内墙及外墙。内墙围绕气体流动区的外缘，外墙围绕在电性耦合区的外缘。泄压膜层遮挡于气体流动区。
申请人：美律电子(深圳)有限公司
地址：518100 广东省深圳市龙华区大浪街道美宝路48号
国籍：CN
代理机构：广州华进联合专利商标代理有限公司
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