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图像传感器及其制作方法[发明专利]

来源:个人技术集锦
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:图像传感器及其制作方法专利类型:发明专利发明人:蒲月皎,吴永皓申请号:CN201410101127.2申请日:20140318公开号:CN104934450A公开日:20150923

摘要:本申请提供了一种图像传感器及其制作方法。图像传感器包括衬底,衬底包括多个有源区和用于隔离多个有源区的隔离结构,每个有源区包括光电感应区和传输控制区,每个光电感应区包括用于形成光电感应结构的第一掺杂区以及第二掺杂区,其中,第一掺杂区与第二掺杂区的掺杂类型相反,第一掺杂区和/或第二掺杂区具有梳齿状结构。本申请将第一掺杂区和/或第二掺杂区设置为梳齿状结构,因而,在有限的大小/面积内,增大了光电二极管的电容。由于光电二极管的电容增大,因而,可以接收更强的光线而不会发生饱和的现象,因而,采用上述结构的图像传感器,其所能接收的光强范围比现有技术中的图像传感器所能接收的光强范围更大。

申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

地址:201203 上海市浦东新区张江路18号

国籍:CN

代理机构:北京康信知识产权代理有限责任公司

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