专利名称：铜或铜合金溅射靶材包装件专利类型：实用新型专利
发明人：姚力军,潘杰,王学泽,郑文翔,刘庆申请号：CN200920273469.7申请日：20091203公开号：CN201660228U公开日：20101201
摘要：本实用新型提供一种铜或铜合金溅射靶材包装件，其具有铜或铜合金溅射靶材和包覆在该溅射靶材外部且呈封闭状态的包装体，所述包装体由氧气透过量在5ml/m·24h·MPa以下、透湿量在3ml/m·24h以下的塑料膜制成，且所述塑料膜的一个或二个表面涂有例如为铜箔的涂覆层。所述包装件为真空密封包装件，且所述包装件还可为多层包装。根据本实用新型，可以保持铜或铜合金溅射靶材表面的金属特性稳定、防止起表面氧化反应，延长铜溅射靶材的保存时间，给生产、运输、供货及销售等提供便利；同时有效地保证溅射镀膜的溅射效率、溅射效果以及溅射成膜的质量。
申请人：宁波江丰电子材料有限公司
地址：315400 浙江省余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路
国籍：CN
代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
代理人：李丽
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