专利名称：具有用于粗泄漏测试的测量体积的薄膜腔专利类型：发明专利
发明人：西尔维奥·德克尔,罗尔夫·诺伯特申请号：CN201580049140.0申请日：20150914公开号：CN107076636A公开日：20170818
摘要：本发明涉及一种薄膜腔(10)，用于容纳测试目标(22)，所述测试目标(22)将会被测试是否有泄漏的存在；其中所述薄膜腔(10)具有包围薄膜腔体积(20)的腔壁，所述腔壁具有至少一个柔性腔壁区域；其特征在于，邻近所述柔性腔壁区域的测量体积(34、36)被设置在所述柔性腔壁区域的被相对于所述薄膜腔体积(20)放置的一侧，并且被与所述薄膜腔体积(20)气密地分隔。
申请人：英福康有限责任公司
地址：德国科隆
国籍：DE
代理机构：深圳中一专利商标事务所
代理人：阳开亮
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