专利名称：纯化二氧化碳的方法专利类型：发明专利
发明人：小丹尼尔·阿尔瓦雷斯,杰弗里·J.·施皮格尔曼,拉塞尔
·J.·霍姆斯
申请号：CN200380101622.3申请日：20031016公开号：CN1705504A公开日：20051207
摘要：本发明涉及一种纯化CO以达成其在半导体工业中使用的足够纯度的方法。本发明包括使CO流体与至少一种金属的混合金属态在适当的条件下接触，除去污染物。吸收剂然后被净化/活化，将吸收剂恢复到混合氧化态，并进一步循环净化。选择吸收剂彼此互补，优选吸收不同的污染物。另外，选择吸收剂以进行不同的还原，使得再生时只有一部分金属被还原，而吸收剂实质上恢复到其初始状态。
申请人：密科理股份有限公司
地址：美国马萨诸塞州
国籍：US
代理机构：永新专利商标代理有限公司
代理人：过晓东
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容