专利名称：一种差压压力传感器的制备方法专利类型：发明专利发明人：李刚,胡维,吕萍申请号：CN201810314543.9申请日：20180410公开号：CN108760100A公开日：20181106
摘要：本发明公开了一种差压压力传感器的制备方法，解决了感压薄膜较薄时线性度和可靠性较差的问题。该制备方法包括：制备带有腔体的绝缘体晶圆，该带有腔体的绝缘体晶圆包括依次叠置的器件层、氧化层和衬底层，衬底层和氧化层之间包括位于衬底层内的环形腔体；在器件层的表面制备压敏电阻；刻蚀掉环形腔体的正投影范围内的部分衬底层至露出环形腔体。
申请人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
地址：215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号NW-09楼102室
国籍：CN
代理机构：北京布瑞知识产权代理有限公司
代理人：孟潭
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