专利名称：晶圆作业台专利类型：实用新型专利发明人：吴亚红,万世伟申请号：CN201922268225.6申请日：20191217公开号：CN210837696U公开日：20200623
摘要：本实用新型提供一种晶圆作业台，用于在将晶圆转移至晶圆盒内的过程中放置晶圆盒。晶圆作业台包括作业台本体及缓冲垫；缓冲垫位于作业台本体上，缓冲垫的水平面高于作业台本体的水平面，缓冲垫的宽度小于晶圆盒的底部宽度；当将晶圆盒放置于缓冲垫上，向晶圆盒内放置晶圆时，晶圆先与缓冲垫接触，然后落至晶圆盒的卡槽中并被固定。本实用新型的晶圆作业台通过改善的结构设计，可以在晶圆放置到晶圆盒的过程中减小晶圆受到的冲击力，可以极大降低晶圆的碎片风险，同时可以减少晶圆的锋利边缘对晶圆盒造成的损伤，有利于延长晶圆盒的使用寿命，降低生产成本。且本实用新型的晶圆作业台结构简单，使用方便，有着较大的产业利用价值。
申请人：芯恩(青岛)集成电路有限公司
地址：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401
国籍：CN
代理机构：上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人：余明伟
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