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一种新型用于半导体生产的打磨装置[发明专利]

来源:个人技术集锦
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种新型用于半导体生产的打磨装置专利类型:发明专利发明人:许同

申请号:CN202010607801.X申请日:20200629公开号:CN111702655A公开日:20200925

摘要:本发明公开了一种新型用于半导体生产的打磨装置,包括半导体打磨机构,所述半导体打磨机构包括电机、电动伸缩杆和半导体片,所述半导体打磨机构还包括固定主体、固定架、打磨主体、转盘和安装主体,所述固定架的下端固定安装在固定主体的上端,所述打磨主体的上端固定连接在固定架上端内侧,所述转盘的下端外壁与固定主体滑动接触,所述转盘的下端中心固定连接在电机的转子上端,所述安装主体的下端滑动插接安装在固定主体的上端,所述电机、电动伸缩杆和半导体片匀通过外接电源电性连接,所述电机的外壳通过固定主体固定安装,所述电动伸缩杆的上端通过固定架固定安装。本发明能够提高空间利用率,同时保障了打磨质量,更好的满足使用需要。

申请人:许同

地址:238300 安徽省芜湖市无为县陡沟镇陡沟社区第一自然村

国籍:CN

代理机构:合肥兆信知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人:朱陈晨

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