专利名称：漏液侦测装置专利类型：发明专利
发明人：任存生,苏亚青,金见安,张旭升,张传民,文静,李阳柏申请号：CN201310554330.0申请日：20131108公开号：CN103644458A公开日：20140319
摘要：本发明公开了一种漏液侦测装置，应用于向机台传输化学药液的管道的漏液侦测，包括：一中转箱，所述中转箱套设于所述管道外，且所述中转箱的底部设有开孔；设置于所述中转箱底部与所述开孔连通的套管，所述套管包括管路和设置于所述管路内部的支管，所述管路的底部密封，所述支管的一端伸出所述管路的顶部开口；以及，设置于所述套管外部的传感器。本发明采用在中转箱底部的管路中设置一具导气功能的支管，从而有效避免了漏液进入管路时形成的气封现象，漏液侦测准确度高，且工艺简单方便，实用性强。
申请人：上海华力微电子有限公司
地址：201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
国籍：CN
代理机构：上海申新律师事务所
代理人：竺路玲
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