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一种基于复合白光干涉器件的光位移传感器[发明专利]

来源:个人技术集锦
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种基于复合白光干涉器件的光位移传感器专利类型:发明专利

发明人:郑普超,包艳,张兵,张超,杨楠申请号:CN201710565728.2申请日:20170712公开号:CN107478156A公开日:20171215

摘要:本发明涉及一种基于复合白光干涉器件的光位移传感器。它由宽带光源(1)、Y型光纤(2)、壳体(3)、透镜组(4)、反射镜(5)、复合干涉组件(6)、连杆(7)、解调器(8)和信号处理单元(9)组成,复合干涉组件(6)与壳体(3)之间通过连接板连接。本发明能实现以白光干涉为原理的大量程线位移测量,很好的解决了白光干涉型线位移传感器核心器件工艺复杂、量程受限的问题。

申请人:中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所

地址:710065 陕西省西安市雁塔区电子一路92号

国籍:CN

代理机构:中国航空专利中心

代理人:陆峰

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