专利名称：进气装置专利类型：实用新型专利发明人：刘胜芳,林立,蔡世星,单奇申请号：CN201420824547.9申请日：20141222公开号：CN204325495U公开日：20150513
摘要：一种进气装置，包括至少一个气体分散单元，该气体分散单元包括第一层筛板、第二层筛板和进气管，第一层筛板设有多个第一进气孔，第二层筛板设有多个第二进气孔；进气管包括多个支管，支管与第一进气孔连通。气体经由进气管输送并经由支管输送到第一进气孔中，然后穿过第一层筛板进入第一层筛板和第二层筛板之间，此时，多个第一进气孔对气体进行第一次分散，同时，当气体从第一进气孔逸出时受到第二层筛板的阻挡，从而使得第二进气孔对气体进行再次分散，然后再进入腔室进行沉积或刻蚀流程。经过两次分散的气体，使得腔室内气体分散均匀，产品的边缘和中间的沉积或刻蚀速率差别较小，得到的产品均匀性好。
申请人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司,昆山国显光电有限公司
地址：215300 江苏省苏州市昆山市高新区晨丰路188号
国籍：CN
代理机构：广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人：唐清凯
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